从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法

明摆着的据以取名

:从硅片切B废品浆中回收多晶体硅

技术王国

本想出的办法触及一种回收多晶体硅的办法。,特别的触及ー种从硅片切B废品浆中回收多晶体硅。

环境技术

眼前硅片挖苦的次要采取金刚砂粉、挖苦的锡。,因为持续在的明摆着的证明,大宗派办法回收的硅纸和烟叶都很难姑息要价。。次要成绩是金刚砂粉、切削液和电报引入的杂质难以去除。,特别极少量的超细金刚砂粉末不克不及。跟随用钻石装饰的线锯制剂技术的开展,用钻石装饰的线锯逐步被用来挖苦的四四方方地挖苦的的硅片。,眼前,若干日本中队早已将这种技术用于Cutti。,中国1971也有很多中队 硅片挖苦的试验,据估计,走近将有更大比例的用功。但用钻石装饰的线锯挖苦的硅片发生的钻入泥中依然在,免得这宗派硅粉不克不及弯曲部分用功,不克不及无效使萧条硅片的开采本钱。因而,从废品浆中回收多晶体硅具有要紧的现实意义。。因而做研究到何种地步从硅片切B废品浆中回收多晶体硅具有很强的急事。

想出的办法愿意的
本想出的办法要处置的技术成绩是开价高纯粹的、重要性才能亏耗的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅。处置是你这么说的嘛!技术成绩,本想出的办法采取的技术规划如次:
开价ー种包含以下过程的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅
(o)从处置过的用钻石装饰的线锯挖苦的硅片废品浆(次要是、硅粉、水基切削液、混录纯水修补浆体群众的百分法浓度为10% 20%,继固定离心割开恰当的停止离心割开。,割开液的去除,压力过滤设法对付的硅内容 90%刚体纸和烟叶;
(2)停飞刚体纸和烟叶混合酸=I 原子炉中刚体重要性的群众的比为2,混录了INORG。,将搅拌摧毁修补为5 90r/min,反映高烧把持在5 70°C,反映10 12小时后脱酸,用纯水洗涤,直到中性回压过滤,获取滤饼;
(3)纯水滤饼制浆,修补钻入泥中群众的百分法浓度至 5%,大宗派用钻石装饰的是用旋风提纲机割开的。,压力过滤后设法对付硅内容。 99%的硅料;
(4)以2.4的使成比例反应式疏散是你这么说的嘛!硅。 3. 重气体中5 g/cm 3后,继用以离心机分离停止离心割开。,用纯水反转洗涤去除上硅影响的地域目标重质气体,压滤饼;用钻石装饰的线锯挖苦的硅片时采取的是船舶冷却液,不引入无机杂质,用钻石装饰的的使成比例很高,影响的地域3. 5g/cm3 (硅的密度为2 34 g/cm3,碳化钙弟子是3。 I 3. 2 g/cm3),用重水法伺侯解决把弟子和用钻石装饰的划分。(5)纯水滤饼制浆,修补钻入泥中群众的百分法浓度至 3%后,大孔水合氢交换物树脂恰当的去除水合氢,压滤后空虚贫瘠的设法对付的纯粹 99. 99%硅粉;
(6)将上一步设法对付的硅粉压块,继在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,杂质的去除,纯粹超越99。 99 99%硅锭。在过程(i)中,离心割开恰当的为平层的螺旋状物以离心机分离或SEDI。,其离心摧毁把持如次 1000r/min 1500r/min。在过程(2)中,无机酸混合酸是群众的百分法浓度。 95%硫酸盐、群众的百分法浓度(>35%)的氢氯酸、群众的百分法浓度≥60%的王水影响的地域目标无论如何两种。在过程(3)中,旋风提纲机包含6个 8级系列水力旋风分离者。在过程(4)中,重的气体是溴化物镇静剂。、ニ碘甲烷、钨酸钠水浸泡影响的地域目标无论如何一种钻入泥中。在过程(5)中,水合氢交换物树脂恰当的是一种阳水合氢交换物器。、阴水合氢交换物器I、阴水合氢交换物器2与阴水合氢树脂交换物器结成。在过程(6)中,多晶体硅锭炉高烧把持140 1450°C,钢锭摧毁为3 8mm/h。本想出的办法具有活跃的无益的导致。
1.エ艺流动复杂、回收本钱低,伺侯エ业化生产;
2.秒步。回收多晶体硅纯粹高,高增值价值,用功普遍。
特别的落实例以下结婚特别的落实例进ー步论述本想出的办法。以下落实例触及的原纸和烟叶和策略,免得未委派,它们都是移交的原纸和烟叶或策略。。落实例I从硅片切B废品浆中回收多晶体硅
(1)在吨废浆中混录4吨纯水,以评定群众的。,继用平层的螺旋状物以离心机分离离心,板框压滤机压滤设法对付硅内容为90%刚体纸和烟叶400公斤;
(2)3m3原子炉混录400 kg刚体物料,添加300 kg 95%浓硫酸盐和100 kg 60%王水,修补搅拌摧毁至80r/mi,把持原子炉高烧为5 70°C,反映后10小时加水脱酸,新的至中性并按filte,350公斤滤饼;
(3)2号滤饼混录吨纯水制浆,可调钻入泥中群众的百分法为5%,继大宗派用钻石装饰的被水力旋风分离者割开。,采取压力过滤法到达了99%内容的硅纸和烟叶。300公斤;
(4)将99%的硅疏散在500kg的溴化物镇静剂中。,采取エ业以离心机分离离心割开,用纯水反转洗涤下层硅纸和烟叶,压力过滤硅纸和烟叶290kg;
(5)对4中所得硅料混录吨纯水造浆,可调钻入泥中群众的百分法为3%,大孔水合氢交换物树脂恰当的去除水合氢,压滤后空虚贫瘠的设法对付99%。 99%硅粉280公斤。ICP7700S等水合氢体质量分析器的最后如次: 5PPm ; B :0. 2PPm ; Bi :0. IPPm ; Ca :25. 4PPm ;Cr :0. 3PPm ; Cu: I. I PPm ; Fe :28. 6 PPm ; K:l. 5 PPm; Na: 2. I PPm ; P:0. 3 PPm ; 铅:0。 采取IPPM0(6)等静压将硅粉后膝关节病成块状。,继在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,钢锭炉高烧把持1420度,钢锭摧毁为4 mm/h,杂质的去除,纯粹为99。 99 99%硅锭。ICP7700S等水合氢体质量分析器的最后如次:A1 12PPm ; B :0. 18PPm; Bi :0. 005 PPm ;CA:0。 08PPm ; Cr:0. 002PPm ; Cu:0. IPPm ; Fe:0. 09PPm ;K:0.02 PPm ; Na:0. 015 PPm ;P:0.22 PPm ; Pb :0. 002 PPm0落实例2从硅片切B废品浆中回收多晶体硅(1)在I吨废品浆混录9吨纯水评定料浆群众的百分法为10%,继用平层的螺旋状物以离心机分离离心,板框压滤机压滤设法对付硅内容为92%的刚体物料390公斤;
(2)在3M3反映釜中混录390公斤刚体物料,添加200 kg 95%浓硫酸盐、100 kg 60%王水和100 kg 35%浓氢氯酸,修补搅拌摧毁至80r/mi,把持原子炉高烧为5 70°C,反映后12小时加水脱酸,新的至中性并按filte,330公斤滤饼;
(3)2号滤饼混录吨纯水制浆,可调钻入泥中群众的百分法为3%,继大宗派用钻石装饰的被水力旋风分离者割开。,压力过滤后,内容为99 1%的硅料295公斤;
(4)将二氧化硅疏散在500kg的钨酸钠浸泡中。,重质气体的使成比例为3。 2g/cm3,采取エ业以离心机分离离心割开,用纯水反转洗涤下层硅纸和烟叶,压力过滤到达硅280 kg;
(5)在是你这么说的嘛!硅纸和烟叶中混录吨纯水。,可调钻入泥中群众的百分法为2%,大孔水合氢交换物树脂恰当的去除水合氢,压滤后空虚贫瘠的设法对付99%。 995%硅粉275公斤。ICP7700S等水合氢体质量分析器的最后如次: 15. 6PPm ; B :0. 19PPm; Bi :0. IPPm ; Ca: 14. 2PPm ;Cr:0. 25PPm ; Cu:0. 4 PPm ; Fe:13. 3 PPm ; K:l. I PPm ; Na:I. 6 PPm ; P:0.27 PPm ;Pb :0.11 PPm。(6)对上步中所得硅粉采取等静压机后膝关节病成块,继在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,铸锭炉的高烧把持为1440°C,铸锭摧毁为5mm/h,杂质的去除,纯粹为99。 99 99%硅锭。ICP7700S等水合氢体质量分析器的最后如次:A1 05PPm; B :0. 17PPm ; Bi :0. 004 PPm ;CA:0。 03PPm ; Cr:0. 003PPm ; Cu:0. 02PPm; Fe:0. 05PPm ;K:0. OlPPm ; Na:0. 012 PPm ;P :0.23 PPm ; Pb :0. 001 PPm。兑换是你这么说的嘛!落实例影响的地域目标许多的特别的的參数,可形状多个特别的的落实例,均为本想出的办法的罕见换衣地域,我无能力的在这边一个一个地地特别的阐明。
冠军的要价
1.一种从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,包含以下过程 (1)向待处置的用钻石装饰的线锯挖苦的硅片废品浆中混录纯水评定料浆群众的百分法浓度为10% 20%,继固定离心割开恰当的停止离心割开。,割开液的去除,压力过滤设法对付的硅内容 90%刚体纸和烟叶; (2)停飞刚体纸和烟叶混合酸=I 原子炉中刚体重要性的群众的比为2,混录了INORG。,将搅拌摧毁修补为5 90r/min,反映高烧把持在5 70°C,反映10 12小时后脱酸,用纯水洗涤,直到中性回压过滤,获取滤饼; (3)纯水滤饼制浆,修补钻入泥中群众的百分法浓度至 5%,旋风提纲法割开用钻石装饰的,压力过滤后设法对付硅内容。 99%的硅料; (4)以2.4的使成比例反应式疏散是你这么说的嘛!硅。 3. 重气体中5 g/cm 3后,继用以离心机分离停止离心割开。,用纯水反转洗涤去除上硅影响的地域目标重质气体,压滤饼; (5 )对上步所获取滤饼以纯水造浆,修补钻入泥中群众的百分法浓度至 3%后,大孔水合氢交换物树脂恰当的去除水合氢,压滤后空虚贫瘠的设法对付的纯粹 99. 99%硅粉; (6)将上一步设法对付的硅粉压块,继在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,杂质的去除,设法对付纯粹彡99. 99 99%硅锭。
2.停飞冠军的要价I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点位于,在过程(i)中,离心割开恰当的为平层的螺旋状物以离心机分离或SEDI。,其离心摧毁把持如次 1000r/min 1500r/min。
3.停飞冠军的要价I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点位于,在过程(2)中,无机酸混合酸是群众的百分法浓度。 95%硫酸盐、群众的百分法浓度彡35%的氢氯酸、群众的百分法浓度彡60%的王水影响的地域目标无论如何两种。
4.停飞冠军的要价I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点位于,在过程(3)中,旋风提纲机包含6个 8级系列水力旋风分离者。
5.停飞冠军的要价I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点位于,在过程(4)中,重的气体是溴化物镇静剂。、ニ碘甲烷、钨酸钠水浸泡影响的地域目标无论如何一种钻入泥中。
6.停飞冠军的要价I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点位于,在过程(5)中,水合氢交换物树脂恰当的是一种阳水合氢交换物器。、阴水合氢交换物器I、阴水合氢交换物器2与阴水合氢树脂交换物器结成。
7.停飞冠军的要价I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点位于,在过程(6)中,多晶体硅锭炉高烧把持140 1450°C,钢锭摧毁为3 8mm/h0
全文摘要
本想出的办法触及一种回收用钻石装饰的线锯挖苦的硅片废品浆中多晶体硅的办法。次要包含以下过程:废钻入泥中固液割开;向刚体中添加混合酸,反映10-12小时后脱酸,新的至中性;用纯水制浆后,大宗派用钻石装饰的被旋风割开器割开。,采取压力过滤法到达了99%内容的硅纸和烟叶。,继将其疏散在重质气体中,离心割开后用纯水反转洗涤;将洗涤后的料浆大孔水合氢交换物树脂恰当的去除水合氢,贫瘠的剂制剂硅粉;多晶体硅铸锭炉压硅后铸锭P,杂质的去除,纯硅锭。本想出的办法在不同移交的多晶体硅制剂,而且,术语复杂、本钱昂贵,伺侯工业化。
文档编号C01B33/037GK102642837SQ201210127930
空旷日2012年8月22日 推荐日期:201年4月27日 先发制人日2012年4月27日
想出的办法者姜维海, 宋贺臣, 罗小军, 郝玉辉 推荐人:河南新大新银行纸和烟叶股份有限公司